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UL1000 Fab 可移動式英?？岛鈾z漏儀，通過儀器的干式泵技術，可以消除被測部件或設備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟性之間提供了最加的性價比。它提供先近的 10-12mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應時間的特點。

UL3000 Fab 可移動式英?？岛鈾z漏儀，長久以來，INFICON泄漏檢測技術一直是高性能和易用性方面的標干。UL3000 Fab有著當今市場上極快的泄漏檢測速度，可提供最加用戶體驗。UL3000 Fab專為滿足半導體制造領域的專業(yè)要求而開發(fā)，如半導體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測試。