產(chǎn)品分類
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簡(jiǎn)要描述:UL3000 Fab 可移動(dòng)式英??岛鈾z漏儀,長(zhǎng)久以來,INFICON泄漏檢測(cè)技術(shù)一直是高性能和易用性方面的標(biāo)干。UL3000 Fab有著當(dāng)今市場(chǎng)上極快的泄漏檢測(cè)速度,可提供最加用戶體驗(yàn)。UL3000 Fab專為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā),如半導(dǎo)體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測(cè)試。
UL3000 Fab 可移動(dòng)式英??岛鈾z漏儀
UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。
·較早地起始泄漏檢查,由于HYDRO·S軟件限制水蒸汽本底,使它有可能快速進(jìn)入高靈敏的測(cè)量范圍。
·快速抽空,由于對(duì)空氣的高抽速。
·低使用成本(TCO)由于無需維護(hù)的羅茨粗抽泵。
低的運(yùn)行和維護(hù)成本
維護(hù)費(fèi)用低,使用壽命長(zhǎng):
·堅(jiān)實(shí)耐用的真空系統(tǒng)
·加固的離子源,長(zhǎng)達(dá)三年保修期
易于進(jìn)入應(yīng)用區(qū)域
·小型和堅(jiān)實(shí)的結(jié)構(gòu),穩(wěn)定和良好的移動(dòng)性
·重心低,易搬運(yùn)
·大膠輪,易于翻越障碼物
典型的應(yīng)用
■INFICON 檢漏儀日常用于大型半導(dǎo)體生產(chǎn)中
■各種過程工藝包括:刻蝕.CVD,PVD,真空爐,離子注入,MOCVD,太陽能,FPD 等
■工藝維護(hù)后快速確認(rèn)工藝的完整性和應(yīng)修復(fù)的漏孔部位
■在次級(jí)生產(chǎn)中的真空管線和泵
■氣柜和復(fù)雜的氣體輸送管線
■生產(chǎn)設(shè)施和治理
易檢測(cè)大漏孔
可非??斓貦z測(cè)大漏孔,由于不再需要等待系統(tǒng)抽空。這得益于:
■大漏檢測(cè)功能(專用的泵/閥組功能)
UL3000 Fab 可移動(dòng)式英??岛鈾z漏儀
您的泄漏檢測(cè)解決方案專家
INFICON可為高度專業(yè)化行業(yè)中要求極為苛刻的真空過程提供權(quán)球嶺先的測(cè)量和傳感器技術(shù)及過程管理服務(wù)。特別是在制冷和空調(diào)技術(shù),半導(dǎo)體制造和汽車生產(chǎn)等領(lǐng)域,INFICON的氣體泄漏檢測(cè)產(chǎn)品有著廣泛應(yīng)用。
有INFICON 在您的身邊,您就有了一個(gè)專家顧問,他對(duì)您所在行業(yè)所面對(duì)的挑戰(zhàn)了如指掌,可與您一同找出適合您需求的最加解決方案。INFICON 的眾多分公司遍布權(quán)球,專家專業(yè)全威,確保提供最ding級(jí)的服務(wù)和最到位的支持。INFICON 不但在美國(guó)和歐洲建有技術(shù)先近的制造工廠,而且在中國(guó),中國(guó)臺(tái)灣,法國(guó),德國(guó),日本,韓國(guó),列支敦士登,新加坡,瑞士,英國(guó)和美國(guó)設(shè)有分公司。
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