国产午夜精品福利久久,第二十三小莹的放纵欲视频,精品欧美日韩第二区,国产精品ⅴ欧美精品日韩精品

相關(guān)文章

RELATED ARTICLES

產(chǎn)品中心/ products

您的位置:首頁  -  產(chǎn)品中心  -  日本岡崎OKAZAKI 產(chǎn)品  -  加熱器  -  岡崎晶圓加熱器

岡崎晶圓加熱器

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 更新時(shí)間:2024-04-22

簡(jiǎn)要描述:岡崎晶圓加熱器主要用于薄膜沉積系統(tǒng),特別是在半導(dǎo)體行業(yè),但也用于太陽能電池板、納米技術(shù)、薄膜沉積系統(tǒng)以及光刻、退火和光學(xué)器件行業(yè)。在這些真空工藝中,超?。ㄓ袝r(shí)只有幾個(gè)原子厚)涂層在真空中涂覆在表面上。

產(chǎn)品詳情

岡崎晶圓加熱器薄膜沉積CVD設(shè)備用加熱系統(tǒng)由上海利布迪公司提供

利布迪公司為半導(dǎo)體行業(yè)的各種晶圓加工應(yīng)用提供糕端加熱解決方案,包括薄膜沉積系統(tǒng)(例如 CVD、PVD、ALD)。我們與國(guó)外合作,提供礦物絕緣晶圓加熱器(也稱為基板加熱器或壓板加熱器),適用于關(guān)鍵條件,其規(guī)格可滿足這些工藝的特殊和多樣化需求。玩全定制的基板加熱器通常是最佳解決方案,但我們也提供一系列標(biāo)準(zhǔn)盤式加熱器。無論客戶選擇什么,我們的產(chǎn)品和建議都可以依靠,通過確保最佳的溫度均勻性來提高整體工藝穩(wěn)定性。

 

 

岡崎晶圓加熱器的用途是什么?

晶圓加熱器主要用于薄膜沉積系統(tǒng),特別是在半導(dǎo)體行業(yè),但也用于太陽能電池板、納米技術(shù)、薄膜沉積系統(tǒng)以及光刻、退火和光學(xué)器件行業(yè)。在這些真空工藝中,超?。ㄓ袝r(shí)只有幾個(gè)原子厚)涂層在真空中涂覆在表面上。有多種技術(shù)可供選擇,所有這些技術(shù)都需要不同的基材加熱元件,其特性和設(shè)計(jì)都與工作溫度和沉積材料類型相匹配。我們的對(duì)夾式加熱器用于以下工藝:

· ALD(原子層沉積)200°C 至 400°C

· CVD(化學(xué)氣相沉積)高于900°C

· PVD(物理氣相沉積)200°C 至 400°C

· PLD(脈沖激光沉積)500°C

· PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)200°C 至 400°C

· 濺射(通過用高能顆粒轟擊基板進(jìn)行鍍膜)350°C

晶圓加熱器可以直接影響沉積薄膜的性能,包括對(duì)附著力和化學(xué)反應(yīng)的影響。它們對(duì)于確保加熱均勻性以均勻沉積薄膜至關(guān)重要。

 

對(duì)夾式加熱器的類型

(礦物絕緣)晶圓加熱器的選擇取決于所需的應(yīng)用。由于薄膜沉積工藝的高度專業(yè)化和關(guān)鍵性,我們的加熱解決方案經(jīng)常進(jìn)行定制,以考慮所有工藝參數(shù)和所需的最終結(jié)果。我們的重點(diǎn)是以下類別的加熱器:

· 一系列標(biāo)準(zhǔn)盤式加熱器

o 直徑從5厘米到16厘米不等

o 提供通用支架,允許客戶將圓盤擰入或焊接到其特定夾具中

· 定制基板/壓板加熱器

o 與客戶共同設(shè)計(jì),在尺寸、形狀、護(hù)套材料等因素方面玩全適合應(yīng)用環(huán)境

無論您在利布迪公司選擇哪種加熱器,我們產(chǎn)品的高質(zhì)量和顧問的專業(yè)知識(shí)都意味著可以確保熱均勻性,這對(duì)薄膜沉積系統(tǒng)至關(guān)重要。

規(guī)格和物理性能

為了確保晶圓加熱器能夠玩美地適應(yīng)每種應(yīng)用,利布迪和/或美國(guó)專家將考慮許多變量和規(guī)格:

· 不同類型的基板加熱元件具有各種(可定制的)形狀、尺寸和長(zhǎng)度。

· 電氣連接是密封的。密封件的選擇取決于真空度和化學(xué)品/污染物的存在。

· 生產(chǎn)后使用氦氣泄漏檢查確保真空完整性

· 真空法蘭(“O”形圈)可用于連接真空外部的電源和傳感器電纜。在這方面,我們的金屬-陶瓷加熱連接器也是值得考慮的有用配件。

· 熱和冷熱部分可定制。

· 可以提供焊接的外護(hù)套,以最大限度地減少危險(xiǎn)環(huán)境中的污染。例如,不銹鋼或Inconel 600。

· 可以包括內(nèi)部熱電偶,以精確監(jiān)測(cè)產(chǎn)生的熱量。

所有這些可能性意味著我們可以提供耐氧化、惰性、還原和(高)真空環(huán)境的晶圓加熱器。我們的礦物絕緣晶圓加熱器具有非常寬的溫度范圍,使其適用于所有沉積工藝,甚至高達(dá)1000°C。 此外,由于采用了護(hù)套,對(duì)夾加熱器具有出色的機(jī)械強(qiáng)度,響應(yīng)速度快。加熱器遵守嚴(yán)格的質(zhì)量測(cè)試要求。

利布迪的質(zhì)量和服務(wù)

利布迪的晶圓加熱器系列由美國(guó)生產(chǎn)。他們?cè)诠犷I(lǐng)域擁有數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn),是我們最長(zhǎng)期的合作伙伴之一。利布迪與美國(guó)ARi建立了合作伙伴關(guān)系,確保為設(shè)計(jì)定制加熱解決方案或調(diào)整電流范圍以滿足特定應(yīng)用的需求提供全面的技術(shù)支持。

事實(shí)上,利布迪為嶺先的半導(dǎo)體設(shè)備公司供貨的原因之一是因?yàn)槲覀兎e極支持開發(fā)新的和定制的加熱產(chǎn)品。具體到基板加熱器,溫度均勻性至關(guān)重要,美國(guó)工廠的研究是持續(xù)的,熱均勻性解決方案(例如多區(qū)域或定制基板散熱器)不斷改進(jìn)。


如果您有需要可以打電話咨詢我們,我們給您提供詳細(xì)的產(chǎn)品介紹以及報(bào)價(jià),價(jià)格受多種因素影響,下單前一定要詢價(jià)哦,歡迎您的來電!

 
在線咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
產(chǎn)品中心
日本岡崎OKAZAKI 產(chǎn)品

CONTACT

辦公地址:上海市嘉定區(qū)封周路655號(hào)14幢201室J;

TEL:021-59106012

EMAIL:chenjiao@libudi.cn
掃碼加微信
版權(quán)所有©2024 上海利布迪工業(yè)技術(shù)設(shè)備有限公司 All Rights Reserved   備案號(hào):滬ICP備2023020333號(hào)-2   sitemap.xml技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登陸

TEL:13889136427

掃碼加微信